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簡(jiǎn)要描述:1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設備。2.設備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺、流量控制系統、真空獲得系統、真空測量系統、氣路系統、PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統等組成。3.該設備主機與控制一體化設計,操控方便;結構緊湊,占地面積小。
產(chǎn)品分類(lèi)
詳細介紹
品牌 | LEBO/雷博 |
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1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設備。
2.設備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺、流量控制系統、真空獲得系統、真空測量系統、氣路系統、PLC+觸摸屏自動(dòng)控制系統等組成。
3.該設備主機與控制一體化設計,操控方便;結構緊湊,占地面積小。
4.主要用途:
1. 開(kāi)發(fā)納米級單層、多層及復合膜層等。
2. 制備金屬膜、合金膜、半導體膜、陶瓷膜及介質(zhì)膜等,例:銀、鋁、 銅、鎳、鉻、鎳鉻合金、氧化鈦、氮化鈦、氮化鉻、ITO......
3. 兩靶單獨濺射、依次濺射、共同濺射。
5.應用領(lǐng)域:
1. 高校、科研院所的教學(xué)、科研實(shí)驗及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗及開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品等。
2. 鈣鈦礦太陽(yáng)能電池、OLED、OPV 太陽(yáng)能電池等行業(yè)。
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